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旋轉(zhuǎn)接觸角測(cè)量?jī)x在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用

時(shí)間:2022-07-20        來(lái)源:m.bmcp2333.com    瀏覽:1399次
  旋轉(zhuǎn)接觸角測(cè)量?jī)x主要用于測(cè)量液體對(duì)固體的接觸角,即液體對(duì)固體的浸潤(rùn)性,可以測(cè)量各種液體對(duì)各種材料的接觸角,而接觸角是表征材料表面潤(rùn)濕行難呢過(guò)的主要手段,為了確保光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x的壽命以及測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,我們?cè)谑褂玫臅r(shí)候要了解它的維護(hù)和保養(yǎng)的主要事項(xiàng)。
 
  測(cè)量?jī)x可以用于:測(cè)量光刻膠、晶圓、光伏、塑料、玻璃、陶瓷、木材、紙張、金屬等材料的的潤(rùn)濕性、分析表面清潔度、活化過(guò)程的質(zhì)量保證,例如測(cè)試等離子處理后的效果、測(cè)試疏水涂料和其他涂料的效果等等。

 
          
 
  接觸角測(cè)量?jī)x應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi),避免光學(xué)零件表面污損,金屬零件生銹,塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,影響儀器性能;傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,應(yīng)定期加潤(rùn)滑油,使機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)順暢,保持良好的使用狀態(tài)。
 
  半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的,晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失,所以需要用接觸角測(cè)量?jī)x檢測(cè)晶圓表面潤(rùn)濕性等來(lái)判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。
 
  測(cè)量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤(rùn)濕行為,測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測(cè)量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等功能。
 
  液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性:如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過(guò)程的測(cè)量和分析等。全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案,可搭配至流水線(xiàn)上使用,提高檢測(cè)效率。
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